这些新型的、超清洁的、材质为含氟聚合物的手动和气动阀门大大提高了流量,并提供更好的增强型阀座密封,增强无泄漏性能,提供了最大的安全性。它们旨在以最小的体积提供最高的流量。采用计算流体动力学软件来最大化通过这些阀门的流量。这些超净化阀适用于半导体液体应用,包括高浓度酸和碱,明确的其他化学物质和浆液。因其清洁度和拥有高度的耐化学腐蚀性能,对于其他严苛的市场应用,也可以使用这些阀门。
市场:
• 半导体加工
• 化学品加工
• 分析设备
• 实验室
特点与优势:
• 耐酸和浆料,循环使用寿命长
• 简洁的标识,真正的上锁挂牌设计(LOTO)
• 双点密封提供双倍的密封效能
• 平滑的钻孔和完全可清扫的流道,最大限度地减小颗粒捕获区域并防止截留区的形成
• 100%泄漏测试
• 符合SEMI-F57-0301标准
关键应用:
• 化学机械抛光(CMP)浆料
• 超高纯度工艺
• 明确的半导体工艺化学物质
• 搅拌机系统
• 清洁系统
性能特点
阀体材料 PFA
隔膜材料 改性聚四氟乙烯(PTFE)
壳体材料 聚偏氟乙烯(PVDF)
弹簧材料 不锈钢,含氟聚合物涂层
螺钉材料 SS
最大压力(PSIG) 80 psig
驱动压力 60 至100 psig
温度系数(F) 32°至212°F
温度范围(C) 0°至100°C
证明压力 120 psig
爆破压力 200 psig
流体容量 0.33, 0.82, 2.3, 4.3