派克955系列1-1/4英寸不锈钢阀体隔膜阀能够提供优秀的抗漏能力,长久的使用寿命以及低杂质生成。这些优点使它成为高纯半导体应用的理想选择。
955系列在过程流体的使用中采用无螺纹及弹簧连接,这种设计能够最大限度的减少杂质的生成并且可以使过程减少污染,而这是半导体应用的关键。严格的阀门设计能够控制阀座及膜片的压力,从而提供可靠的免维护的使用寿命。955系列与流体接触的部分由特殊的金属构成具有优秀的防腐蚀性及抗漏能力。阀体内部为Vericlean™ 316L不锈钢电抛光材质。Vericlean™ 是派克优秀的超高纯级不锈钢材质。膜片是高强度的钴基合金。955系列阀座同时提供PCTFE(聚三氟氯乙烯),PEEK®(聚醚醚酮)和Vespel®(聚酰亚胺树脂)材质,以便可以兼容广范围的过程流体。这些材质组成了955系列严格的设计特征,为955系列提供了优秀的抗腐蚀性,在入口压力250 psig时达到最大的使用寿命。
955系列的气动阀被设定成能够用限位开关或接近开关来提供开-关的位置指示。这个设定也应用在多阀体构造中,包括955Y(Y阀)和SM955(表面组装)。
所有955系列阀的内部(阀座)密封和金属外部密封均采用质谱仪进行氦气泄漏测试,以确保其在高要求的超高纯应用中有出色可靠的表现。
市场需求:
• 半导体
• 分析实验室
• 制药业
• 生物制药业
• 航空航天
• 工业
特点/优势:
• 5微英寸(Ra)电解抛光表面光洁度
• 高使用寿命(包含腐蚀性条件下)
• 内部无弹簧和无螺纹设计,最大限度的减少了杂质的生成和气体的卷入
• 从真空到250 psig完全适用
• 内部泄漏率:≤ 1 x 10-9 scc/sec He
• 外部泄漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• 标称AOP驱动压力为75 psig
应用:
• 腐蚀性和特殊气体
• 半导体工具
• 工具连接
• 特气柜
• 阀箱
Vericlean™ 是派克汉尼汾公司的商标
Vespel® 是杜邦公司的注册商标
PEEK™ 是威格斯公司的商标
阀体材料 | 非常清洁的316L不锈钢 | |
隔膜材料 | 埃尔吉洛伊,等价物 | |
底座材料 | 聚三氟氯乙烯(std),聚醚醚酮,聚酰亚胺树脂 | |
盖帽材料 | 17-4不锈钢 | |
螺母材料 | 316L不锈钢 | |
壳体材料 | 阳极电镀铝 | |
证明压力 | 375 psig(26 barg) | |
爆破压力 | 750 psig(52 barg) | |
流体容量(Cv) | Cv 0.55 | |
内部泄漏率 | ≤ 4 x 10-9 scc/sec He | |
外部泄漏率 | ≤ 2 x 10-10 scc/sec He | |
表面处理(RA) | 5微英寸Ra | |
内部容积(毫升) | 3.29 cc(包括面密封接头) | |
重量(磅) | 0.81 | |
重量(公斤) | 0.36 | |
最大入口压力(psig) |
125 psig(AOPLPNO,G) 250 psig(AOPLPNC,I,L,M) |
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最大入口压力(barg) |
8.62 barg(AOPLPNO,G) 17.22 barg(AOPLPNC,I,L,M) |
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驱动压力 | 75 psig(5 barg),标称 | |
空气入口 | 1/8" NPT | |
最高工作油温(C) | 66°C | |
最高工作油温(F) | 150°F | |
最低工作油温(C) | -40°C | |
最小工作温度(F) | -40°F |