派克veriflo部门的F9系列超高压止回阀提供改进的性能和兼容性,具有非对称弹簧设计一直安静的操作和低流量的限制与竞争。F9两密封材料满足所有半气体相容性的要求,降低客户库存,满足更广泛的应用。组装和封装在一个类100级洁净室,F9系列产品是为超高纯度半导体行业应用设计的。
阀体材料 | |
非常清洁的316L不锈钢材质
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弹簧材料 | |
非磁性合金,当量
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密封材料 | |
氟碳弹性体(氟橡胶) 全氟弹性体(全氟橡胶)
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提升阀的材料 | |
316L 不锈钢
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停止限幅材料 | |
316 不锈钢
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流体容量(Cv) | |
Cv值0.45 (X 0.89) (1/4" 短管) - Cv值0.90 (X 0.78) (1/4" & 1/2" 面密封) - Cv值0.90 (X 0.78) (3/8" & 1/2" 短管)
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内部泄漏率 | |
气密
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外部泄漏率 | |
外部泄漏率为 1 x 10-9 scc/sec(内侧的试验方法)
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表面处理(RA) | |
省略(10 RA钝化(STD),黄金标签(EP)7 RA的电解抛光,蓝色的标签)
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内部容积(毫升) | |
0.14立方英寸(2.29cc)(1/4"端面密封)(外)
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重量(磅) | |
0.15(1/4"面密封(外))-0.07(1/4"短管)
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重量(盎司) | |
2.4(1/4"面密封(外))-1.2(1/4"短管)
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最大入口压力(psig) | |
3000 psig( 氟碳弹性体,氟橡胶)- 1000 psig(全氟,全氟橡胶)
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最大入口压力(barg) | |
260公斤(氟碳,氟橡胶)-68公斤( 全氟弹性体 ,全氟橡胶)
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最大背压(psig) | |
3000 psig( 氟碳弹性体,氟橡胶)- 1000 psig(全氟,全氟橡胶)
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最大背压(barg) | |
260公斤(氟碳,氟橡胶)-68公斤( 全氟弹性体 ,全氟橡胶)
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开启压力(bar) | |
0.13
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开启压力(psi) | |
2
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复位压力(psig) | |
≤ 2
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复位压力(barg) | |
≤ 0.13
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最高工作油温(C) | |
66°C
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最高工作油温(F) | |
150°F
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最低工作油温(C) | |
-23°C
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最小工作温度(F) | |
-10°F
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