内置金属垫片的超纯净面密封接头（尺寸最大为1英寸）–VacuSeal™

产品概况：

VacuSeal™是一种内置金属垫圈的端面密封接头，该接头可以提供极高的完整性，防止泄漏的有效性能，使得它们适用于需要超高纯度条件的关键应用场合，例如半导体行业的管路配置、阀门阀组集成柜（VMBS）和气体气路分配系统。VacuSeal™接头的特点是需要配合配套的金属密封圈和高光洁度的环面设计，创造了金属对金属的密封形式，提供无泄漏服务，从真空到9000psi压力范围可用。

VacuSeal™接头的尺寸范围从1/8英寸到1英寸可选，并可选择各种接头本体和接头压盖配置。它们是由Veriflo工厂生产的低硫含量的Vericlean™材料加工而成，Vericlean™是Veriflo工厂注册的商标，它是316L不锈钢在100级洁净室中制造而得的特殊材料。标准材质光洁度是5 RA，其通过材料表面湿法电抛光减少表面颗粒度的同时提供优异的耐腐蚀性能。接头压盖可选用高纯度镍材质和Hastelloy C-22®哈氏合金材质，以确保在极其
腐蚀性应用中的性能和可靠性。

VacuSeal™接头设计了安装面为平面，接头压盖与 Verfilo的TorqTite™自动调心面密封垫圈平面安装密封，该连接方式不需要安装工具，并消除了由于热循环和振动造成的部件松动。TorqTite™也保证了密封性能，甚至在损坏的安装环面上也能有效密封。并且在应用中使用允许最高扭矩，而不会损坏密封表面。这是VacuSeal™接头螺母，是用超高纯度制造材料制造而成，与接头压盖配合连接，最大限度地减少了颗粒的产生，并确保了在清洁生产至关重要的晶圆制造操作中的防止泄漏完整性。

所有的真空管接件都是要求通过氦气泄漏测试，以确保在要求的超洁净应用时的性能和可靠性。

市场：
• 半导体生产线
• 设备实验室
• 分析实验室
• 药物试验室
• 生物危害试验
• 航空航天应用
• 工业生产

应用：
• 腐蚀性和特殊性气体
• 半导体实验室气体分配系统
• 半导体设备
• 半导体设备二次配管
• 集成气柜
• 阀门阀组集成柜（VMB）

特点/优势：
• 接头上带有两个泄漏测试口便于泄漏测试
• 泄漏率：小于1×10-9 STD SCC/SEC He
• 5 Ra内部电抛光表面光洁度
• 内螺纹带有镀银工艺，具有增强的电镀工艺，用于清洁、电解抛光和钝化的侵蚀性化学工艺。
• 不旋转的螺母安装防止了在安装过程中扭矩的传递，从而最小化了部件的扭转而引起的应力集中。
• 防螺纹咬死的螺母工艺，确保无电镀或润滑工艺的连接低扭矩，顺畅一致。
• TorqTite™垫圈最初接触内锥度，径向迫使任何夹杂污染物排出连接件。
• 接头压盖上的热追踪代码提供原材料的可追溯性
• 安装无轴向间隙，而导致接头连接系统侧向移除部件
• 平滑过渡到内径，最小化内陷区域

Hastelloy C-22是 Haynes国际公司的注册商标。


性能特点：

产品类型		本体压盖，接头本体，焊接组件，焊接模块，垫圈，螺母，螺帽，堵头，
阀体材料		本体压盖，接头本体，接头螺母：316，316L，316L VAR，316L VIM/VAR不锈钢垫片：镍材质，不锈钢材质，Kel-F®材质，Teflon®四氟材质
连接尺寸		尺寸最大为1英寸；6至18毫米
连接器类型		钢管对焊接口，钢管自动对焊接口，钢管承插焊接口，NPT螺纹，A-LOK双卡套接口，直螺纹接口
温度系数(F)		高达 1000 (537°C)
压力范围（psi)		高达 9,000 (620 bar)