超净应用（UHP）-PTFE含氟聚合物手动研磨浆隔膜阀（尺寸高达1英寸）-MV-20 系列

产品概况：

作为仪器仪表流体控制系统技术的世界领导者，派克汉尼汾MV-20系列是一种PTFE含氟聚合物手动隔膜阀，用于研磨浆料介质的流动控制和半导体和洁净区域应用中的侵蚀性流体控制。阀的流动路径设计产生最小的压降，这允许上游的较低的压力要求和改进的流体流动动力学。它具有两通和三通两种配置类型，以及三通径大小可选（1/4英寸，1/2英寸，和1英寸）。端口尺寸范围从1/4到1-1 / 4英寸可选，并且可以提供Parflare, Pargrip或者是Pillar S300本体端接口.

MV-20系列研磨浆液阀的阀体由100%超高纯度PTFE制成，具有优异的耐化学性能。

这一点，加上一个整体的PTFE隔膜，为阀门提供了极好的灵活性和最大的循环应用，可用压力在100 psig。阀门本身也非常紧凑，这使得运营商能够节约关键洁净室和工厂辅助空间。

MV-20系列的倾斜和圆形流动路径，加上围绕其隔膜的开放的和扫掠的碗状形状，最大限度地减少湍流并消除可能引起流体剪切应力的锐角。这减少了颗粒包封，并提供了增强的抗腐蚀保护。

总的来说，MV-20系列阀门的设计使得它特别适合于处理研磨磨料和腐蚀性浆液，例如在半导体制造中采用的CMP（化学机械平坦化或化学机械抛光）中出现的那些流体。MV-20系列还适用于广泛的其他清洁区域处理和分析应用，例如控制酸、化学品和去离子水的流动。

MV-20系列的内部（阀座）密封是氦气泄漏测试，以确保在洁净区应用中的性能和可靠性，其中高泄漏完整性和颗粒生成最小化是最重要的。

对于MV-20系列浆液阀的气动选型，请参阅PV-20系列。

市场应用：
• 半导体生产
• 分析实验室
• 药物分析，生产
• 生物危害
• 航空航天
• 工业生产

特点/优势：
• 优异的耐腐蚀性
• 均匀分布的阀座密封力使膜片和阀座应变最小化，同时稳定阀的背压能力
• 最大化膜片厚度最小化渗透的潜力，同时最大限度地延长循环寿命。
• 自动排水设计有助于在开环系统中使用腐蚀性流体。
• 符合SEMI-F55-0301的聚合物组分标准
• 环境温度范围：0°F至+150°F（-17°C至+66°C）
• 流体温度范围：0°F至+266°F（-17°C至+130°C）
• 全功能应用设计从真空到100psig

典型应用：
• 半导体设备
• 半导体设备二次配
• 研磨浆料和腐蚀性化学品分配系统
• 去离子水传输分配

性能特点：

湿性材料		PTFE聚四氟乙烯, 改良版的聚四氟乙烯
不湿润的材料		聚偏氟乙烯 PVDF, 氟橡胶Viton, 带有聚四氟乙烯涂层的不锈钢弹簧
压力范围		27” HG 真空度 (913 mbar) - 80 PSIG (5.5 bar), 27” HG真空度 (913 mbar) - 100 PSIG (7 bar)
最高外界温度（C)		66° C
最高外界温度（F)		150° F
最低环境温度(C)		-17°C
最低环境温度(F)		0°F
最大流体温度（c)		130° C
最流体温度（F)		266° F
最小流体温度（C)		-17°C
最小流体温度（F)		0°F
流体容量(Cv)		Cv .20, Cv .76, Cv 2.4, Cv 3.9, Cv 6.4, Cv 10.9, Cv 13.5
流量因子kv(l /mn)		Kv 2.8, Kv 10.8, Kv 34.2, Kv 55.8, Kv 91.5, Kv 155.4, Kv 192.9
长度（英寸）		3.8, 3.96, 5.2, 5.35, 6.22, 6.98, 8.07
长度（毫米）		96.52, 100.58, 132.08, 135.89, 157.99, 177.29, 204.98