产品概况:
派克930Y系列不锈钢阀体隔膜Y型阀,具有优异的泄漏完整性,高循环使用寿命和低颗粒产生,非常适用于UHP半导体应用。
930Y系列采用不与过程流体接触无螺纹或弹簧设计,可最大限度地减少颗粒产生和截留,减少半导体应用中必不可少的工艺污染。该系列阀门的严格设计,控制阀座和隔膜应力,以提供可靠和免维护的使用寿命。930Y系列阀门润湿部件由特种金属制成,提供卓越的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体是内部采用电抛光处理的Vericlean™316L不锈钢材质。 Vericlean™是派克专有的UHP级不锈钢。隔膜是高强度钴基合金材质。 930Y系列还提供聚三氟氯乙烯(PCTFE),聚醚醚酮树脂(PEEK®)和聚酰亚胺(Vespel®)材质的阀座,可使930Y阀门与各种工艺流体相兼容。这些材料结合930Y系列严格的设计特点,给予了930Y系列产品在入口压力高达300 psig时极度的耐腐蚀性和最大循环使用寿命。
930Y系列提供多种流道配置,以适应上游,下游和通用路径吹扫清洗应用。内部最小化全流道体积设计用以提高清洗效果。该系列气动阀可以配置限位开关或接近开关,用以提供开 - 关位置指示。对于其他阀体构造,请参阅930系列(单阀体)和SM930系列(面板安装)。
930Y系列阀门上内部(阀座)密封件和密封外的金属部件均通过质谱仪进行氦气泄露测试,以确保在苛刻的UHP应用中,保有其性能和可靠性。
市场:
• 半导体
• 分析实验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业
特点与优势:
• 电抛光表面光洁度:5微英寸(Ra)
• 高循环使用寿命(包括耐腐蚀性服务)
• 内部无弹簧和无螺纹设计可最大限度地减少颗粒产生和气体截留
• 全压力范围使用:从真空到300 psig(手动)和125 psig(气动)
• 内部泄漏率:≤1 x 10-9 scc / sec He
• 外部泄漏率:≤2 x 10-10 scc / sec He
• AOP驱动,额定压力为75 psig
应用:
• 腐蚀性气体和特种气体
• 半导体工具
• 工具连接
• 燃气柜
• 阀组箱(VMB)
Vespel® 是杜邦高性能弹性体L.L.C.公司(DuPont Performance Elastomers L.L.C.)的注册商标。
VeriClean™ 是派克汉尼汾公司(Parker Hannifin Corporation)的商标
性能特点:
阀体材料 | |
非常清洁的 316L不锈钢
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隔膜材料 | |
相当于埃尔吉洛伊非磁性合金(Elgiloy)
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底座材料 | |
PCTFE聚三氟氯乙烯(标准),PEEK(聚醚醚酮树脂),聚酰亚胺(Vespel)
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盖帽材料 | |
17-4不锈钢
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螺母材料 | |
316L 不锈钢
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壳体材料 | |
阳极氧化铝
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证明压力 | |
188 psig (13 barg) (NC, NO) 450 psig (31 barg) (I, M)
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爆破压力 | |
375 psig (26 barg) (NC, NO) 900 psig (62 barg) (I, M)
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流体容量(Cv) | |
CV 0.3过程阀(NC,NO,I) CV 0.22过程阀,杠杆(M) CV 0.18 冲洗阀
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内部泄漏率 | |
≤ 1 x 10-9 scc/sec He
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外部泄漏率 | |
≤ 2 x 10-10 scc/sec He
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表面处理(RA) | |
10 微英寸 Ra
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内部容积(毫升) | |
4.26 cc
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重量(磅) | |
2.1
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重量(公斤) | |
0.95
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最大入口压力(psi) | |
125 psig (8.6 barg) (NC, NO) 300 psig (20.7 barg) (I, M)
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最小入口压力(psi) | |
真空
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驱动压力 | |
75 psig 公称(5 barg)
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空气入口 | |
1/8-27 NPT
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烘烤温度(F) | |
在打开位置时耐温250°F
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烘烤温度(C) | |
在打开位置时耐温121℃
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最高工作油温(C) | |
66°C
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最高工作油温(F) | |
150°F
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最低工作油温(C) | |
-40°C
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最小工作温度(F) | |
-40°F
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